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产品名称:
台式红外线灯管加热炉
产品型号:
MILA-5000系列
产品展商:
弘埔技术(香港) 有限公司
简单介绍
台式红外线灯管加热炉 MILA-5000系列红外线加热炉具有快速加热和快速冷却的功能，无环境污染等特长，并同高精的温度控制器组合为一体。
台式红外线灯管加热炉的详细介绍
台式红外线灯管加热炉MILA-5000系列
温度升温速度快，精度高
随着半导体制造工艺朝着高密度，高集成方向的迅速发展，科技研发人员将对RTP(RapidThermalProcessing)的加热技术更加关注。MILA-5000系列红外线加热炉具有快速加热和快速冷却的功能，无环境污染等特长，并同高精的温度控制器组合为一体。具有价格低，体积小，性能高等特点。对于记忆材料和强导电体相关的RTP研究工作，MILA-5000红外线加热炉将提供更广泛的测量领域。
●用途
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
玻璃基板的均热退火
热循环试验与热冲击试验
升温脱离试验与触媒试验
●特长
50/sec的快速加温
式样在保护管内加热，所以气氛可选择真空，各种气体，流动气体
式样温度与程序设定温度同时显示，可完成精密的温度控制
●技术指标
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型号
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高温型
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均热型
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程序操作型
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MILA5000-P-N
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MILA5000-P-F
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温度范围
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RT～1200℃(MAX)
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RT～800℃(MAX)
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试样尺寸
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20mm×20mm×2.0mmt(MAX)
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20mm×20mm×2.0mmt(MAX)
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温度传感器
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K热电偶
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K热电偶
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电源容量
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AC200V/4KVA
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AC200V / 4KVA
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