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产品名称:
红外线灯管加热装置
产品型号:
RTA-98/98#型
产品展商:
弘埔技术(香港) 有限公司
简单介绍
红外线灯管加热装置 是试样放置在碳素susceptor Si导线上，红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡，让加热室得到温度分布的均一性。
红外线灯管加热装置 的详细介绍
红外线灯管加热装置 RTA-98/98#型
适用于半体基板的急速高温加退火
红外线灯管加热装置 是试样放置在碳素susceptor Si导线上，红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡，让加热室得到温度分布的均一性。
●装置的构成
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1
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本体系统架台
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1台
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2
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红外线加热炉 (Pss98/98#)
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1台
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3
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加热，冷却室
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1台
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4
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程序温度控制器
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1台
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5
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真空排气系统
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1台
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6
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气体触摸屏/PLC回路
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1台
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7
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压力控制系统
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1台
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8
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本体架台/配电盘
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1台
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●技术指标
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温度范围
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50～700℃ Max 1000℃
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试样尺寸
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约50mm×50mm硅片4张/连续处理 (2行2列放置)
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气氛
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流动氮气，不活性流动气体
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加热方式
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上下面具有抛物面红外线加热
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热处理区
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约200mmW×200mmD
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加热速度
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RT～700℃/min
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炙热区
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113mmW×102mmD
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炙热精度
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±5℃ (at300℃～700℃)
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压力控热电偶制范围
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1Pa～50Pa (选择部件：压力控制系统)
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热电偶
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JIS K
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susceptor
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碳素susceptorSi导线(约133mmW×120mmD×4mmt)
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