如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
红外线灯管加热装置
产品型号:
RTP-6型
产品展商:
弘埔技术(香港) 有限公司
简单介绍
红外线灯管加热装置 RTP-6型最大的待测试样6英寸基板，并且价格低，用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体，化合物半导体等，在试验过程中，具有气氛可变，高速加热，高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中，手动操作。
红外线灯管加热装置的详细介绍
红外线灯管加热装置 RTP-6型
低价格，用于研究开发
红外线灯管加热装置 RTP-6型最大的待测试样6英寸基板，并且价格低，用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体，化合物半导体等，在试验过程中，具有气氛可变，高速加热，高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中，手动操作。
●特长
|
1.
|
急速加热
|
|
2.
|
金属加热是由冷却水进行冷却，可进行急速冷却控制。
|
|
3.
|
加热炉有9个独立的温度控制区，具有良好的温度分布和再现性
|
|
4.
|
气氛可控 (真空排气系统；选择部件)
|
|
5.
|
气体可置换 (真空排气系统；选择部件)
|
|
6.
|
PC计算机进行数据管理。
|
|
7.
|
装有石英防融板加化加热室的安全性。
|
●技术指标
|
均热精度
|
RT～1000℃（高温计可測范围 400～1200℃）
|
|
被 加 热 物
|
标准6英寸集成电路板 1块（4.5英寸集成电路板也可选择）
|
|
气氛
|
标准 气体、气体流动中、大気中（真空也可选择）
|
|
加 热 方 式
|
用放物面反射红外线炉来加热上部的面
|
|
最大加热速度
|
使用附带Sic碳素导线 10℃／sec
未使用附带Sic碳素导线时 50℃／sec（※用高温计来控制。）
|
|
均热精度
|
使用附带Sic碳素导线 △t=10℃ 保持800℃ N2气体
未使用附带Sic碳素导线时 △t=10℃ 保持800℃ N2气体
|
|
温度传感器
|
JIS K型热电偶（插入附带Sic碳素导线方式）
|
|
控制方式
|
闭环控制
|
|
热排气
|
旋转式鼓风机排气方式
|
|
电源
|
AC200V25.4KVA3φ
|
|
安全项目
|
冷却水量，热电偶断线，漏电，异常停机，加热室内过压
|