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红外线灯管加热装置

如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称: 红外线灯管加热装置
产品型号: RTP-6型
产品展商: 弘埔技术(香港) 有限公司

简单介绍
红外线灯管加热装置 RTP-6型最大的待测试样6英寸基板,并且价格低,用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体,化合物半导体等,在试验过程中,具有气氛可变,高速加热,高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中,手动操作。

红外线灯管加热装置的详细介绍

           线灯管加装置 RTP-6

       

      低价格,用于研究开发

 

红外线灯管加热装置 RTP-6型最大的待测试样6英寸基板,并且价格低,用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体,化合物半导体等,在试验过程中,具有气氛可变,高速加热,高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中,手动操作。

 

 

特长

 

1.

急速加热

2.

金属加热是由冷却水进行冷却,可进行急速冷却控制。

3.

加热炉有9个独立的温度控制区,具有良好的温度分布和再现性

4.

气氛可控   (真空排气系统;选择部件)

5.

气体可置换  (真空排气系统;选择部件)

6.

PC计算机进行数据管理。

7.

装有石英防融板加化加热室的安全性。



 

 

 

技术指标

 

均热精度

RT1000(高温计可測范围 4001200

被 加 热 物

标准6英寸集成电路板 1块(4.5英寸集成电路板也可选择)

标准 气体、气体流动中、大気中(真空也可选择)

加 热 方 式

用放物面反射红外线炉来加热上部的面

最大加热速度

使用附带Sic碳素导线 10sec
未使用附带Sic碳素导线时 50sec用高温计来控制。)

均热精度

使用附带Sic碳素导线      t=10℃ 保持800N2气体
未使用附带Sic碳素导线时  t=10℃ 保持800N2气体

温度传感器

JIS  K型热电偶(插入附带Sic碳素导线方式)

控制方式

闭环控制

热排气

旋转式鼓风机排气方式

电源

AC200V25.4KVA3φ

安全项目

冷却水量,热电偶断线,漏电,异常停机,加热室内过压



 



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