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产品名称:
红外线灯管加热装置
产品型号:
RTP-6型
产品厂商:
弘埔技术(香港) 有限公司
产品文档:
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简单介绍
红外线灯管加热装置 RTP-6型最大的待测试样6英寸基板,并且价格低,用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体,化合物半导体等,在试验过程中,具有气氛可变,高速加热,高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中,手动操作。
红外线灯管加热装置
的详细介绍
红外线灯管加热装置 RTP-6型
低价格,用于研究开发
红外线灯管加热装置 RTP-6型最大的待测试样6英寸基板,并且价格低,用于研究开发领域的装置。RTP-6装置对于硅半导体,化合物半导体等,在试验过程中,具有气氛可变,高速加热,高速冷却的功能。本装置是最适合在研发过程中,手动操作。
●特长
1. | 急速加热 |
2. | 金属加热是由冷却水进行冷却,可进行急速冷却控制。 |
3. | 加热炉有9个独立的温度控制区,具有良好的温度分布和再现性 |
4. | 气氛可控 (真空排气系统;选择部件) |
5. | 气体可置换 (真空排气系统;选择部件) |
6. | PC计算机进行数据管理。 |
7. | 装有石英防融板加化加热室的安全性。 |
●技术指标
均热精度 | RT~1000℃(高温计可測范围 400~1200℃) |
被 加 热 物 | 标准6英寸集成电路板 1块(4.5英寸集成电路板也可选择) |
气氛 | 标准 气体、气体流动中、大気中(真空也可选择) |
加 热 方 式 | 用放物面反射红外线炉来加热上部的面 |
最大加热速度 | 使用附带Sic碳素导线 10℃/sec 未使用附带Sic碳素导线时 50℃/sec(※用高温计来控制。) |
均热精度 | 使用附带Sic碳素导线 △t=10℃ 保持800℃ N2气体 未使用附带Sic碳素导线时 △t=10℃ 保持800℃ N2气体 |
温度传感器 | JIS K型热电偶(插入附带Sic碳素导线方式) |
控制方式 | 闭环控制 |
热排气 | 旋转式鼓风机排气方式 |
电源 | AC200V25.4KVA3φ |
安全项目 | 冷却水量,热电偶断线,漏电,异常停机,加热室内过压 |